平坦化时,先填充一层牺牲材料,再进行高处刻蚀的方法是:

2023-05-27

平坦化时,先填充一层牺牲材料,再进行高处刻蚀的方法是:

A.反刻

B.高温回流

C.旋涂玻璃法

D.CMP



参考答案:

A