目前刻蚀采用碱抛相比于酸刻的优势是下列哪项?
2023-05-30
目前刻蚀采用碱抛相比于酸刻的优势是下列哪项?
A.能刻蚀背面N型硅
B.硅片背面抛光成近似镜面的结构,提高对长波的吸收;
C.能刻蚀PSG
D.能刻蚀四周N型硅
参考答案:
A
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