利用真空泵联合扩散泵对镀膜室抽真空,当抽到一定程度时,镀膜室内的压强长时间保持不变,这主要是因为()。
2024-01-12
利用真空泵联合扩散泵对镀膜室抽真空,当抽到一定程度时,镀膜室内的压强长时间保持不变,这主要是因为()。
A.热偶真空计出现故障
B.电离真空计出现故障
C.真空系统出现漏气,系统气体漏气率等于气体抽气率,漏气与抽真空达到动态平衡
D.以上都是
参考答案:
真空系统出现漏气,系统气体漏气率等于气体抽气率,漏气与抽真空达到动态平衡
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